廃棄シリコンを原料とするSiC燃焼合成

摘要

シリコンウエハー製造で牛じる切削、研磨粉などの廃棄シリコンを原料として燃焼合成による炭化ケイ素（SiC）の合成を試みた。 本研究では試料の予熱、助燃材（Al）添加およびルツボ中試料配置がSiC合成に及ぼす影響を調査した。