廃棄シリコンを用いたサイアロンの燃焼合成

摘要

現在半導体産業から年間3000tの表面酸化の微粉末廃棄Siが発生しその有効利用が問題になっている。 本研究ではこの廃棄Siを原料として軽量，高温強度が大きく, 優れた耐熱衝撃性など利用価値の高いサイアロン, Si_(6-z)Al_zO_zN_(8-z)（z＝0～4.2）の燃焼合成（CS）による直接合成を目的とした。 現在のSiAlONは反応焼結により多工程で製造するため，燃焼合成を利用することにより大幅なエネルギー削減が期待できる。