微細成形技術の動向－高精度ナノインプリント技術·装置開発について

摘要

現在、国内外でナノインプリントの技術開発が急速に加速しており、材料、型（モールド）、装置など、ナノインプリントプロセスを構成する技術完成度も上がってきている。今後はさらに汎用ナノ加工技術として技術が普及し、応用展開が進むものと思われる。本稿では、ナノインプリントプロセスの概要とプロセス装置について解説する。