一种纳米压印技术中的辅助脱模装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米压印技术中的辅助脱模装置，其装置包括支撑架体、升降触停装置、超声波发生器A、超声波发生器B、承台和底座，所述升降触停装置顶部和底部分别与支撑架体和超声波发生器A相连，所述承台嵌与底座的中部位置，所述支撑架体与底座连接。本实用新型利用升降触停装置，使超声波发生器A与待脱模模板零压力接触，并施加超声波以辅助脱模。本实用新型与现有技术相比解决了纳米压印技术脱模过程中由于模板和胶层接触面间的黏结力过大而导致的已成型纳米结构严重变形、撕裂和脱模力过大等问题，使压印后的图案传递与光刻一致。