名古屋大学微細加工プラットフォーム事業によるものつくり支援

摘要

文科省のナノテクノロジープラットフォーム事業は、大学や公的研究機関の最先端の研究設備の共同利用を促進し、全国の研究者·開発者のもっている多様な課題の解決を支援することを目的にしており、全国25機関から39組織が参加している。ナノテクノロジープラットフォームには、「分子·物質合成」、「微細加工」、「微細構造解析」の3つの技術領域があり、ナノ材料やナノ構造を作る、加工するとともにナノ領域を観るというナノテクノロジーに関連する基盤技術を総合的に提供している。名古屋大学は全国的にも珍しく、3つの技術領域すべてで採択されており、3つが連携して支援にあたっている。本稿では、特に名古屋大学の微細加工プラットフォームの特徴や支援設備、利用方法、利用事例について紹介する。