旭化成せhい、メルトブロー製法で極細繊維不織布フィルターを開発、レジスト濾過、化学的機械研磨などの分野で展開

摘要

旭化成せhいは、極細繊維不織布を用いた精密フィルターを開発した。メルトブロー製法を採用、捕集孔径が従来品の4分の1程度の0．5マイクロメートルで、従来の不織布では難しかったサブマイクロメートル領域において高い濾過精度を発揮するほか、低圧損·高寿命を実現した。レジスト、現像液、エッチング液といった各種有機溶剤の濾過のほか、化学的機械研磨（CMP）スラリーなどの砥粒分級といった幅広い用途での利用が可能である。旭化成せhいは、今後サンプルワークを進めながら、幅広く用途開発を進めて各方面で早期採用を目指していく。