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机译:使用顺序氟化氢和二甲基氨基氯化二甲烷曝光的Al 2 O 3,HFO 2和ZrO2的热原子层蚀刻
Univ Colorado Dept Chem Boulder CO 80309 USA;
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机译:使用顺序氟化氢和二甲基氨基氯化二甲烷曝光的Al 2 O 3,HFO 2和ZrO2的热原子层蚀刻
机译:利用Sn(acac)(2)和氟化氢的顺序自限热反应对Al2O3进行原子层蚀刻
机译:通过使用氟化氢和三甲基铝的顺序暴露的“转化蚀刻”机理通过“转化蚀刻”机理热原子层蚀刻ZnO
机译:通过三甲基铝和氟化氢(PPT)的顺序反应,通过“转化蚀刻”机理的热原子层蚀刻。
机译:初步选择的试剂的反应动力学研究:钙(锶)+氟化氢/氟化氘和原子氧+氯化氢。
机译:基于环境后金属退火和恒压应力的Al2O3 / ZrO2和Al2O3 / HfO2双层薄膜的边界陷阱表征
机译:氧化铝(Al 2 O 3)的热原子层蚀刻使用铌五氟化铌(NBF5)和四氯化碳(CCL4):蚀刻机构的组合实验和密度泛函理论研究
机译:si和al2O3衬底上顺序蒸发Y-Ba-Cuo的ZrO2缓冲层的表征