atomic layer etching; SiO2 trimethylaluminum; hydrogen fluoride; Al2O_y; aluminosilicate;
机译:通过使用氟化氢和三甲基铝的顺序暴露的“转化蚀刻”机理通过“转化蚀刻”机理热原子层蚀刻ZnO
机译:使用三甲基铝和氟化氢的顺序暴露的Al2O3原子层蚀刻和Alf3原子层沉积的竞争
机译:利用Sn(acac)(2)和氟化氢的顺序自限热反应对Al2O3进行原子层蚀刻
机译:通过三甲基铝和氟化氢(PPT)的顺序反应,通过“转化蚀刻”机理的热原子层蚀刻。
机译:金属氧化物的原子层蚀刻和金属氟化物的原子层沉积。
机译:连续暴露于分子氯和二酮的钴原子层蚀刻的分子机理
机译:使用三甲基铝的二氧化硅和氧化铝薄膜的热原子层蚀刻用氟化氢或氟代摩擦
机译:用氢还原脲基氟化物。 a.反应率。 B.反应机制