住友電工、兵庫に薄膜GaN基板のパイロット設備～来年度稼働

摘要

住友電気工業は伊丹製作所（兵庫県伊丹市）で、薄膜GaN（窒化ガリウム）基板のパイロットプラントを整備する。すでに着工しており、2011年度中の完成、2012年度の稼働を目指す。このラインは4インチ径と6インチ径の大口径向け。同社と薄膜GaN基板の共同開発を手がける仏ソイテックが大口径製品の製造に成功したため、サンプル出荷向けの生産ラインを両社の拠点で整備する。量産設備については、既存設備の活用も含め今後検討する。