(S025)犠牲コア法によるマイクロチャンネルライニング層形成に及ぼす犠牲コア間隔の影響

摘要

マイクロリアクターは代表寸法数 μm～数百 μm の微細な流路（マイクロチャンネル）を反応場とする小型の化学反応装置であり、その高い混合性能と加熱·冷却性能により、反応の高効率化と高選択化を可能にする。しかし、従来のマイクロチャンネル加工技術では、例えば NiAl 金属間化合物のような高強度と耐食性を兼ね備えた合金への適用は容易ではなかった。