超微細結晶粒をもつSUS304のマイクロ鍛造における型形状の転写特性

摘要

マイクロマシンの部材を製造するためのプロセスとしては種々のものが提案されており、なかでもシリコンプロセスと通称される方法は、高精度·高機能に製造することができるものの、素材がシリコンに限定されるため、耐食性が悪く、用途が限定されるという欠点がある。 微細結晶粒超塑性では、材料の結晶粒が数μmあるいはそれ以下と非常に微細なため、金型形状の転写特性が良く、微細精密成形用材料として期待される。