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机译:反应溅射沉积SiN_xO_y薄膜的光致发光
Photoluminescence; SiN_xO_y films deposited; reactive sputtering;
机译:反应溅射沉积SiN_xO_y薄膜的光致发光
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机译:在高温“智能”摩擦应用中,在封闭场不平衡磁控溅射中反应性沉积的氮化铝压电薄膜。
机译:反应堆磁控溅射沉积p型缺铜Cu Cr0.95-xMg0.05 O2薄膜的光电性能
机译:溅射电流对反应性不平衡磁控共溅射沉积(Ti1-xCrx)N薄膜结构和形貌的影响