机译:在玻璃,SiN_x和SiO_2中间层上溅射非晶硅的CW二极管激光结晶
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机译:玻璃上激光晶化的薄膜硅太阳能电池的中间层开发
机译:准分子激光溅射非晶硅膜的准分子激光结晶工艺,温度为100℃,制备了大型多晶硅晶粒
机译:预图案化非晶硅膜和具有图案化辅助SIO_2层的非晶硅膜的双激光结晶(DLC)
机译:非晶硅薄膜的准分子激光结晶
机译:激光结晶硅膜质量的提高通过玻璃基板上的中间介电层
机译:准分子激光辐照控制掺硼氢化非晶/纳米晶硅多层膜的脱氢和结晶