University of California, Berkeley, Dept. of Mechanical Engineering 6177 Etcheverry Hall, University of California, Berkeley, CA 94720-1740, USA;
double laser crystallization; thin film transistors;
机译:一种使用XeCl准分子激光晶化预先形成的非晶硅膜的高性能多晶硅薄膜晶体管
机译:准分子激光辅助多层加工非晶硅和纳米晶硅薄膜的定制脱氢数值分析
机译:使用镍吸收层的非晶硅薄膜近红外激光诱导结晶的可扩展方法
机译:具有图案化辅助SiO_2层的预图状非晶硅膜和非晶硅膜的双激光结晶(DLC)
机译:非晶硅薄膜的准分子激光结晶
机译:近红外Femtosecond脉冲的光学厚非晶硅膜的大规模和局部激光结晶
机译:氟注入和结晶非晶硅膜上制造的顶栅多晶硅薄膜晶体管的特性