机译:电感耦合等离子体化学气相沉积系统纯沉积的阻气膜的有机硅功能
OLED thin film encapsulation; Polymer-like organosilicon; Inductively coupled plasma chemical vapor; deposition;
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积系统纯沉积的阻气膜的有机硅功能
机译:HMDS / NH_3 / O_2 / Ar用于水蒸气扩散阻挡层的电感耦合等离子体增强化学气相沉积法沉积SiO_xN_y膜的特性
机译:在In0.82Al0.18As上通过电感耦合等离子体化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积生长的氮化硅膜的界面特性
机译:等离子体处理对电感耦合等离子体化学气相沉积沉积低介电常数氟化非晶碳膜结构和电性能的影响
机译:低介电常数有机硅基薄膜的化学气相沉积。
机译:通过电感耦合等离子体辅助化学气相沉积法将废猪油循环成垂直石墨烯片
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能