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机译:通过电子束光刻在硅基板上对聚(N-viny1吡咯烷酮)薄膜进行构图
electron beam irradiation; lithography; hydrogels; thin films; swelling; CROSS-LINKING; IRRADIATION; HYDROGELS; POLYMERS; SURFACES; SYSTEM;
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机译:通过软紫外纳米压印光刻技术在陶瓷薄膜和硅基板上制备纳米级图案
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