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机译:带有弱橡胶磁体的跑道形RF磁控管等离子体的等离子体特性和靶腐蚀曲线,用于全面利用圆形靶材
Racetrack-shaped RF magnetron plasma; Rubber magnet; Ion flux to the target; Target utilization;
机译:带有弱橡胶磁体的跑道形RF磁控管等离子体的等离子体特性和靶腐蚀曲线,用于全面利用圆形靶材
机译:通过圆形磁体单极布置获得用于目标的RF磁化环形等离子体
机译:通过单极排列的磁体生产射频磁控等离子体,以实现目标的均匀利用
机译:通过磁单极子排列用于特定区域目标的外圆环形射频磁化等离子体
机译:限制在偶极磁体场中的等离子体压力分布
机译:磁控溅射聚合物靶材:从薄膜到非均质金属/等离子聚合物纳米颗粒
机译:使用Cu2ZnSnS4化学计量靶的磁控溅射等离子体中Cu,Zn,Sn和S原子的粘附概率
机译:射频磁控溅射过程中变换对(1-x)Li4siO4:(x)Li3pO4靶射出的原子和分子种类影响的等离子体诊断研究