磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响

摘要

本文采用朗缪尔探头法和台阶仪法相结合对射频增强非平衡磁控溅射(RF-UBM)产生的金属等离子体的特性进行了测定,主要测量了不同靶材下金属粒子的沉积速率和金属等离子体的离化率.并讨论了对临界起辉点参数的影响。