Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками

摘要

Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки.