机译:纳米压印光刻技术与嵌段共聚物定向自组装的集成,用于制造位图介质的20 nm以下模板
directed self-assembly; template fabrication; bit patterned media;
机译:纳米压印光刻技术与嵌段共聚物定向自组装的集成,用于制造位图介质的20 nm以下模板
机译:纳米压印光刻技术制备的纳米图案POSS衬底上的聚苯乙烯嵌段聚二甲基硅氧烷嵌段共聚物大面积定向自组装的软石墨外延
机译:通过嵌段共聚物光刻结合抗蚀剂设计制备高度有序的20 nm以下纳米硅纳米柱
机译:通过结合嵌段共聚物定向自组装和纳米压印光刻技术,在圆形轨道上制作具有矩形位的模板
机译:先进光刻的嵌段共聚物定向自组装的计算研究。
机译:通过自组装形成层状聚苯乙烯嵌段聚(二甲基硅氧烷)二嵌段共聚物通过纳米压印光刻技术制备的纳米图案。
机译:纳米压印光刻用嵌段共聚物模板制备大面积高密度亚20nm siO2纳米结构