机译:可降解的交联剂和可剥离的成像材料,用于分步式和快速压印光刻
机译:可降解的交联剂和可剥离的成像材料,用于分步式和快速压印光刻
机译:控制步进和闪光压印光刻中的压印变形
机译:在分步闪光压印光刻模板中模拟制造和压印变形
机译:自动进行压印掩模清洗,适用于步进式和压印压印光刻
机译:分步和闪光压印光刻:用于制造高级集成电路的材料和应用。
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:通过全晶圆和卷对卷分步闪光纳米压印光刻技术生产的塑料基板单层宽带抗反射涂层
机译:氧化铝作为193纳米准分子激光光刻的成像材料。