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机译:Si电化学刻蚀工艺制备的皮升容积玻璃管阵列
Electrochemical nanofabrication; Si electrochemical etching; Picoliter volume glass tube array; Microreader; MEMS;
机译:Si电化学刻蚀工艺制备的皮升容积玻璃管阵列
机译:具有由金属辅助电化学蚀刻制造的强光致发光的垂直对准硅纳米线阵列
机译:电化学刻蚀制备p型硅中的三维大孔阵列
机译:区域选择性硅电化学刻蚀工艺制备高纵横比纳米体积玻璃电池阵列
机译:光电化学刻蚀制备的柱状多孔碳化硅的形成与表征。
机译:球面光刻技术结合金属辅助化学刻蚀和各向异性化学刻蚀在Si(111)衬底上制造的三角形孔阵列
机译:深度反应离子蚀刻工艺制造的MEMS盘谐振器阵列复合材料的电压控制调谐倾斜度