クリーンルーム用帯電防止プレート - 高性能透明帯電防止プレート エスロンDCプレートについて

摘要

半導体デバイスの進化に伴い、クリーンルーム資材に対する要求品質も変化し続けている。 1983年、256k DRAMから1M DRAMへと高集積化が進む中、帯電防止透明プラスチックプレート（商品名: エスロンDCプレート）は誕生した。 クリーンルームの清浄度を上げるためには部材の帯電が大きな支障となるが、当時、クリーンルームの窓材や装置のカバーとして使うのに好適な帯電防止透明部材はなかった。 加工性、透明性に優れた帯電防止部材を要求する声に応え、DCプレートは開発され、その後も様々な要求品質に応えて使われ続けている。