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ミニマル装置群で作製したデバイスの電気的特性評価

机译:评估使用最少设备组制造的设备的电气特性

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摘要

クリーンルームではない、一般環境に設置されたミニマル装置群を使用して作製されたデバイス(pnダイオード、MOS キャパシタ、pチヤネルMOSFET)について、電気的特性を評価し、大変良好な特性を得た。
机译:我们评估了使用一组安装在一般环境中而不是在洁净室中的最小器件制造的器件(pn二极管,MOS电容器,p沟道MOSFET)的电气特性,并获得了非常好的特性。

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