ミニマル装置群で作製したデバイスの電気的特性評価

摘要

クリーンルームではない、一般環境に設置されたミニマル装置群を使用して作製されたデバイス（pnダイオード、MOS キャパシタ、pチヤネルMOSFET）について、電気的特性を評価し、大変良好な特性を得た。