安心·安全·高効率なマイクロフローリアクターの開発：クロスエッジ微細加工を駆使したフローリアククーの技術開発

摘要

最近、当社は産総研と共同で最新技術を集結させ、熱·物質移動効率を高めた安全性の高い大型（12×18cm）フロ己リアクターの開発に成功した。反応例として、爆発リスクを制御しつつ水素および酸素の直接反応によるオンサイト過酸化水素水製造を取り上げた。本稿ではマイクロフローリアクター製造の微細加工技術に沿って、その効果を説明する。