シリコン·ウェーハのバルク金属汚染①バルク金属汚染の概要と発生機構

摘要

シリコン·ウェーハのバルク金属汚染について概説した。製造工程の改善によりウェーハ表面汚染量は年々改善され、ウェーハの全汚染量に占めるバルク金属汚染量の比率が増加している。今後、バルク金属汚染量の低減に向けた製造工程の改善が必要である。