シリコンウエーハ内部欠陥検査装置：シリコンウエーハ内部に存在する空気欠陷の検出装置

摘要

ケメット·ジャパンでは、次世代半導体の歩溜まり、品質向上に寄与する検査装置に力を注いでいる。本稿では、従来は見逃されていた欠陥検査を定量化することを可能にした検査装置（エアーポケット）をについて紹介する。