ファンフィルターユニット：監視制御システムと組み合わせた局所クリーン化への取組み

摘要

最近のクリーンルームは、高清浄度、フレキシビリティ ⑹ˉē庭毳`、低コスト、保守管理の省力化などからフアンフィルターュニット(FFU)方式が主流となっている。 当社は、メーカーとしてFFUやエアシャワーなどのクリーン機器を提供するばかりでなく、クリーンルームの内装や付帯設備まで含めたクリーンルームシステムとしても対応している。また、社内に製造用や実験用クリーンルームを有するとともに、昭和30年代からグリーン事業を手掛けており、豊富な実績や総合研究所他のグループ企業のノウハウを駆使して、クリーンルームや装置搭載用クリーン機器等の企画段階から運用管理までをサポートしている。