スーパークリーンルーム実験室：既存クリーン実験室の改修工事例

摘要

ナノテクノロジー関連施設では、分子汚染物質と呼ばれる有機物質や無機物質、金属物質が室内空気中に超微量（m{sup}3 当たり数μg）存在すると製品製造等に悪影響を与えてしまう。 そのため、従来の粉塵に加え分子汚染物質の少ない室（ここでは「スーパークリーンルーム」と称する）を持つ工場を建設する必要がある。 問題となる分子汚染物質名とその発生源の多くは、既往の研究により判明している（表1）。