クリーンルームにおける室圧制御手法に関する実験的研究その1　実験室の概要と局所排気稼動時の室圧変動に関する実験

摘要

製薬工場などのクリーンルームにおいては、クロスコンタミネーションおよび汚染物質の拡散防止の観点から、室圧のコントロールが重要である。室圧の制御手法には様々な方法がある一方、コストも含めて施設側の仕様や要求性能も多様であり、それらに応じた制御手法の導入が望まれている。