加速試験によるウェーハ表面TDHの評価⑦出荷容器洗浄·乾燥工程に潜むウェーハ表面汚染の危険性

摘要

出荷容器洗浄工程の概要を解説し、シリコン·ウェーハへの品質リスクを報告した。自動洗浄装置による容器洗浄では、ポリカーボネートの脱水が進まず、TDH発生リスクが高くなる。