特殊環境における材料アウトガスの測定：測定方法とアウトガス発生挙動の解析

摘要

半導体プロセスへの真空技術導入や人工衛星の信頼性向上等を目的として、特に真空環境下でのアウトガス評価が注目されている。本稿では、真空環境下でのアウトガス試験装置を試作し、試験プロセスによるアウトガス発生挙動の解析を行った結果を紹介する。