インダクタ形リニアモータの構造と特性：MLMの構造と特徴、高推力化の検討事例およびサーボ性能を表す推力·位置決め·損失特性などを述べる

摘要

近年の半導体·液晶分野の急速な発展には、製造装置の要素技術を担うリニアスライダシステムの高性能化が大きく貢献している。 これら高性能リニアスライダの多くは、回転形サーボモータ駆動によるボールねじ送り方式が用いられている。 しかし、リニアスライダの仕様の高度化とともにボールねじ送りでは不可能な送り速度（2m／s以上）の要求が増え、ボールねじを介さずダイレクトに直動するリニアモータが実用化され始めている。 現在では、推力50～6000 Nまで幅広くシリーズ化され、装置メーカーが用意するリニアエンコーダや上位コントローラにも問題なく直結する駆動コントローラが準備されている。本稿では、MLMの構造と特徴、高推力化検討の事例、さらにはサーボ性能を表す推力特性、位置決め特性および損失特性について紹介する。