可変成形型電子ビーム露光装置のためのレイアウトのL型分割手法

摘要

LSIのマスク製造に用いられている電子ビーム露光装置は矩形形状のビームしか照射できない為，レイアウトを矩形に分割して1つずつ露光していくのだが，LSIの高集積化により露光する矩形数が増え，これに伴ってマスク製造コストが増大している．そこでL型形状のビームを照射できるように露光装置を改良する事を前提に，レイアウトを矩形とL型に分割する手法が提案きれたが，この手法は必ずしも矩形とL型の合計個数が最小となる様にレイアウトを分割可能であるとは限らない．そこで本稿では最小個数に分割する動的計画法を用いたアルゴリズムを提案する．