机译:用于可变模具电子束曝光装置的布局的L型分割方法
東京農工大学大学院工学府;
東京農工大学大学院工学府;
L型分割; 動的計画法; 可変成形型電子ビーム露光装置; マスクデータ;
机译:可变模制电子束曝光设备的布局L形分割方法
机译:用于可变模具电子束曝光装置的布局的L型分割方法
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