可变矩形电子束曝光系统中的温度及微束流测量数...

摘要

大规模集成电路可变矩形电子束曝光机对温度、微束流等项测量提出了较高的要求。因此,我们已研制了分辨率为0.05℃的精密温度测量仪。为在变形束曝光机中实现自动温度和微束流测量,我们又研制了精密温度和微束流测量数据采集系统。实验证明,本系统的性能已达到设计要求。