Катодолюминесценция и электрофизические свойства эпитаксиальных слоев AlGaN

摘要

Исследованы вольт-фарадные характеристики (ВФХ), эффект Холла, электропроводимость, низкотемпературная катодолюминесценция (КЛ), релаксационная спектроскопия глубоких уровней (РСГУ) эпитаксиальных пленок AlGaN, выращенных парофазной эпитаксией из металлоорганических соединений (ПФЭМОС) на подпожках Al_2O_3 и легированных Si и Mg. Обнаружен ряд глубоких уровней (ГУ) и приведена их интерпретация.