半導体デバイス製造技術（リソグラフィー法）の触媒表面の微細加エへの応用と反応性の制御

摘要

触媒と半導体の関係は，1950～60年代にバンド理論に基づいた触媒作用や光触媒作用の理解などの研究例から密接な関連を持ち続けている。 また，表面科学的手法は半導体や触媒表面の両分野の研究に利用されている。 近年では，ナノサイエンスという側面でゼオライトのような多孔性物質やナノクラスターも両分野で盛んに研究されている。 このようにマクロな現象では異なる性質が利用され，異なる分野（半導体は物理，触媒は化学）に属する2つの関係は意外に密接である。