QCMによるケミカルエアフィルタの寿命判定手法の検討

摘要

半導体ヤフラットパネルディスプレイ，ハードディスクなどを製造するクリーンルームでは，デバイスの集積度の向上と微細化に伴って，HEPAフィルタやULPAフィルタでほ除去できない分子状物質による製品への汚染が問題となり，これらの分子汚染を防止するためのさまざまな対策技術がとられている1）。