液晶用大型フォトマスク基板開発AGCが販売開始

摘要

AGC（旭硝子）は、TFT（薄膜トランジスタ）液晶ディスプレイ用大型フォトマスク石英基板を開発、販売を開始する。生産はAGCエレクトロニクス（本社：福島）が2011年より行う。TFT液晶ディスプレイパネルの製造工程の一部であるパターニング工程では、電子回路等の微細なパターンを描画した合成石英ガラス基板がフォトマスクとして用いられる。フォトマスクの上から光を当てることでガラス基板に回路パターンを転写し、TFT回路やカラーフィルターが形成される。