ラム波型弾性波基板の電気機械結合係数：裏面の薄膜による電気機械結合係数の増大

摘要

基板の上下面で反射を繰り返しながら伝搬するラム波において、裏面に弾性波速度の遅い薄膜を設けると電気機械結合係数が大きく増大すること、速度分散性により周波数微調整が容易に行えることについて、特に金薄膜の例を紹介する。