エッチングガス販売、15年度ほ％の伸び高アスペクトエッチングガスで、5年間で販売量3倍目標

摘要

ダイキン工業（十河政則社長兼CEO）の半導体向けエッチング剤事業が好調だ。15年度決算でも同事業は10％の伸びを示しており、特にフッ素系エッチングガスは15％売上を伸ばした。今後は高アスペクト向けの三弗化メタン、八弗化シクロブタンに注力、5年後のエッチングガス販売量を現行の3倍にまで引き上げる計画だ。