公开/公告号CN1675750A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 优利讯美国有限公司;
申请/专利号CN03819460.0
申请日2003-08-13
分类号H01L21/311;
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人钟强;谷惠敏
地址 美国佛罗里达州
入库时间 2023-12-17 16:29:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-08-06
授权
授权
2005-11-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-28
公开
公开
机译: 使用离散气体切换方法实现高纵横比深蚀刻中的侧壁平滑
机译: 使用离散气体切换方法实现高纵横比深蚀刻中的侧壁平滑
机译: 使用离散气体切换方法在高纵横比/深蚀刻中的侧壁平滑