量産ラインの洗浄技術について（量産ラインにおける枚葉洗浄技術の変遷）

摘要

以上，枚葉式洗浄の量産ラインにおける技術の変遷を紹介した。ブラシスタラバー洗浄は，パーティクル除去性能は高いものの，デバイス面の縦構造や表面状態のゆらぎを考慮すると，副作用のポテンシャルも高い。よって現時点，量産ライン向きの枚葉式洗浄は二流体洗浄である。一方，量産ラインの場合，生産のゆらぎ（仕掛かりの増減など）に対する安定生産の維持が重要なファクターである。例えば、設備能力の100％まで適用工程を追加すると，100％以上の仕掛かりを抱えた時に仕掛かりを減らすことが不可能となり，生産性が靴してしまう。従って，実際は，その時々の生産状況を踏まえ，適用工程に優先順位を設け，前述の4種類の洗浄を設け使い分けしている。