クリーンルーム用ケミカルエアフイルタ性能試験方法指針（案）

摘要

先に空気清浄協会では、「クリーンルーム構成材料カら発生する分子状汚染物質の測定方法指針」が提案さかた0クリーンルームにおいて、製品に対し有害な汚染彰質の種類と濃度の特定及び空間中の汚染物質の制御にはその発生源を把握することが重要となる。 しかしながら、微量な発生量の材料を使用したとしても、現在から将来にわたり、非常に低濃度の空間を創り上げるためには、クリーンルーム内の有害なガスを除去する、また取り入れ外気中の汚染物質を除去するケミかレエアフィルタの使用が有効であり、その性能を知ることほ対策上最も重要なことと考えられる。 「JISB9901-1997ガス除去フィルタ性能試験方法」は、生活環境·作業環境を対象とする空気調和及び換気に用し－られるガス除去フィルタの性能試験方法について規定したものである。 今回作成する指針との違いは基本的には、ガス除去率及びガス除去容量を求めることではあるが、クリーンルーム用ケミカルエアフィルタを対象とした際に、対象とする汚染物質の種類とその濃度レベルであることが挙げられる。これは、試験装置の材質から始まり、クリーンルームを対象とした濃度の試験用ガスの発生方法、ガスの分析方法、寿命の予測方法等の制定方法について考え直す必要があることを示している。