首页> 中文会议>第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛 >洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题

洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

对当前国际上，洁净室HEPA/ULPA过滤器系统的检漏方法进行介绍并对其特点进行分析。对比当前国内过滤器系统的检漏情况进行讨论。

著录项

来源
《第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛》|2007年|147-153|共7页
会议地点深圳
作者
严德隆;
展开▼
作者单位

中国半导体行业协会;

中国贸促会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类
关键词
扫描检漏; 整体检漏; 指认漏透过率; 扫描速度; 指认漏预计粒子数; 观察允许值; 随机误差;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 洁净室高效空气过滤器现场检漏方法的实验研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之七 [J] . 曹国庆 ,许钟麟 ,张益昭 . 暖通空调 . 2008,第010期
2. 高效空气过滤器安装检漏方法的实验研究 [J] . 王秀山 . 山西科技 . 2014,第001期
3. 《洁净室施工及验收规范》的检漏方法受到国际关注 [J] . 曹国庆 . 暖通空调 . 2012,第5期
4. 中、小型洁净室工程承包工作有关问题探讨 [J] . 姜伟康 ,章汝熙 . 洁净与空调技术 . 2005,第003期
5. 药厂洁净室安装使用中有关问题的探讨 [J] . 柯正方 ,袁惠德 . 中国药业 . 1996,第008期
6. 洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题 [C] . 严德隆 . 第十届中国国际洁净技术论坛 . 2007
7. 基于集中式空调系统空气过滤器净化PM2.5的试验研究 [A] . 周刘轲 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号