プロトン伝導性メソポーラスシリカ薄膜の蒸気合成

摘要

界面活性剤薄膜にテトラエトキシシラン（TEOS）蒸気を接触させると，TEOS蒸気が膜に浸透し，シリケート/界面活性剤の複合体が形成される．本稿では，蒸気浸透法によるメソポーラスシリカ薄膜の合成について解説する．また，高濃度のリン酸基を含有したシリカ薄膜の合成とその高いプロトン伝導性について紹介する。