成長，加工，ドーピング，そして…

摘要

筆者の研究報告はビジュアル系と揶されますが，ここではそれを逆手に取って研究を振り返ってみました（図1）．図1（a）Si基板上多結晶ダイヤモンドの高速·配向制御成長を行うことから始まり，（b）6インチ成膜へと移行した．（c）6インチサイズ上でのαパラメータ制御に成功し，さらに（d）α＜1の領域での新しい成長を発見することができた．一方，（e）RIEによる微細加工技術も開発し，加工サイズは（f）ナノスケールに至った．（g）成長用の装置を使った異方性エッチングも試み，同様の発想から（h）単結晶ダイヤモンドナノロッドの作製に成功した．