大気圧プラズマによるDLC膜合成

摘要

ダイヤモンド状炭素（Diamond-Like Cardon，以下DLC）膜は，高硬度，高耐摩耗性，低摩擦係数，高絶縁性，高化学安定性，高耐食性，高ガスバリヤ性，高熱伝導率，高耐焼付き性，高生体親和性，高赤外透過性などの特徴を有し，電気·電子機器，切削工具，金型，自動車部品，光学部品，医療用機材，PETボトルの酸素バリヤ膜，衛生機器や装飾品などに幅広く応用されている．