半導体デバイスの信頼性基礎講座（5）－金属配線の故障物理－

摘要

大規模集積回路（Large Scale Integration：以下，LSI）の発明から今日まで，配線技術の占める役割は常に大きい．2000年のノーベル物理学賞は「集積回路の発明」を称えてジャック·キルビーらが受賞した．彼が発明した，半導体回路を一つのチップ上に形成するというアイデアに対するものである．